К менторам

Максим Князев

Ментор
Максим Александрович Князев — научный сотрудник ИПТМ РАН

Контакты
maleksak@iptm.ru
+7(903)765−12−17

Проект
Исследование свойств новых отечественных резистов для электронно-лучевой литографии.
При этом надо будет решить следующие задачи:

  • обучиться работе на лабораторном электронном литографе;
  • научиться нанесению резиста для электронно-лучевой литографии на кремниевую подложку путем центрифугирования;
  • научиться проявлять проэкспонированный на электронном литографе резист;
  • выучить какие характеристики электронного резиста являются наиболее важными при электронно-лучевой литографии, разобраться как их определять;
  • провести экспериментальную работу которая позволит определить основные характеристики новых резистов для электронно-лучевой литографии.

Область знаний: Твердое тело, мягкая материя

Формат работы: Очно

Формат работы: Дистанционно

Статус ментора: Научный сотрудник

Организация: ИПТМ РАН

Минимальный курс: 1

Профили ментора в научных сетях

Профили ментора в научных сетях

Профиль дает возможность узнать больше о научных интересах ментора и его публикациях.

Scopus